高真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備簡介
蒸鍍室是以電阻加熱的方式實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)鍍膜功能的，它是在高真空條件下，通過加熱材料的方法，在需鍍襯底上蒸鍍各種金屬單層或多層膜，適用于實(shí)驗(yàn)室制備金屬、氧化物、介質(zhì)、掃描電鏡制樣等，也可用作教學(xué)及生產(chǎn)線前期工藝試驗(yàn)等，整套設(shè)備操作簡便，綜合功能多，擴(kuò)展空間大，適合及滿足院校的教學(xué)與科研。本設(shè)備由于采用了超高真空密封技術(shù)，極限真空高，恢復(fù)工作真空時(shí)間短；整機(jī)主要采用金屬密封技術(shù)及超高真空閥門，前后開門采用氟膠圈，真空管路用不銹鋼金屬波紋管路，避免了傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)帶來的安裝維護(hù)困難的問題。
2023-12-21
