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濺射設(shè)備主體均為優(yōu)質(zhì)不銹鋼制造，耐腐蝕、抗污染、漏率小;設(shè)備電控部分采用了先進(jìn)的檢測(cè)和控制系統(tǒng)，配置了較先進(jìn)的PLC觸摸編程控制，為用戶做多層膜提供了良好的設(shè)備功能保證，且保證了設(shè)備各功能的穩(wěn)定和方便操作。性能穩(wěn)定、可靠；設(shè)備布局合理，提高了利用率和穩(wěn)定性，減少了對(duì)環(huán)境的干擾；控制面板的設(shè)計(jì)考慮了美觀和適用的結(jié)合，使面板操作指示明確，觀察舒適、操作方便。

極限真空：2×10-6Pa?？慑冏畲笾睆?英寸基片一片?；謴?fù)真空：從大氣到7×10-4Pa ≦30min（新平臺(tái)充干燥氮?dú)猓Ｆ脚_(tái)總體漏率：關(guān)機(jī)12小時(shí)真空度≤1Pa。分子束外延設(shè)備性能參數(shù)：