分子束外延（MBE）
分子束外延（MBE）是一種可在原子尺度上精確控制外延厚度、摻雜和界面平整度的超薄層薄膜制備技術(shù)，是在一定的單晶體材料襯底上，沿著襯底的某個指數(shù)晶面向外延伸生長一層單晶薄膜。外延單晶薄膜在純度和性能上有比體單晶材料有明顯的改善，而且用外延術(shù)可以制造很難用其他方法制造的大面積或特殊材料的單晶薄膜。
分子束外延（MBE）是一種可在原子尺度上精確控制外延厚度、摻雜和界面平整度的超薄層薄膜制備技術(shù)，是在一定的單晶體材料襯底上，沿著襯底的某個指數(shù)晶面向外延伸生長一層單晶薄膜。外延單晶薄膜在純度和性能上有比體單晶材料有明顯的改善，而且用外延術(shù)可以制造很難用其他方法制造的大面積或特殊材料的單晶薄膜。